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第249章 生产线闭环,载入史册的奇迹

身为国内化学权威专家,周启深无比清楚,想达到徐铭这种水平,除长年累月的知识累积和实验经验外,还需具备超强思维和天赋。

特别是在光刻胶这种核心项目上,凭借自身实力做出重大贡献。

哪怕被誉为化学天才的年轻教授都很难实现。

最关键的一点,徐铭并非化学专业,而是才刚深入研究不久。

如果他了解的不错,这次合成光刻胶,属于对方首次开展化学实验。

可以说在看到样品验证结果时,他脑海中甚至猛地浮现出挖墙脚的念头,等徐铭正式入选院士时,把人从物理数学部给弄到化学部来。

进行详细分析时,突然又回想起,自己了解到的徐铭在燕大时的事。

难怪明明报考了数学专业,却先后被信院,以及物院方面的教授院士争抢。

连在箐华的杨老都参与其中。

以至于后边,不得不几个学院共同培养。

该说不说,这种恐怖的学习理解能力,确实非常让人眼馋。

哪位老师不想有这样的学生。

哪个科研人员不想有这样的同事。

不过这个念头,他也只是在脑海里想想,真要兴师动众的去挖人,化学部的人全加一起,恐怕都扛不住物理数学那边的一众院士。

所以快速想清楚这些后,他才代表化学界,请求徐铭不要放弃对化学的研究。

否则真会成为学界的重大损失。

且毫不夸张的讲,影响到人类文明的发展都有可能。

徐铭看著这么大反应的周启深,很快回过神来,嘴唇微动给出回答。

「如果有机会的话,我很乐意继续研究化学。」

虽未把话讲的太过满,但已然让周启深松了口气,脸上的表情重新被喜色占据。

「放心吧。」

「以后肯定不会缺机会,说不定到时候我们化学所还要请徐总师帮忙呢。」

他很是认真的回应一句,接著扭头重新看向路川。

再次把话题引到正事上面。

「路川。」

「把样品的验证结果,立刻汇报给科学院总院,另外和微电子装备那边对接。」

「争取在最短时间内进行流片验证。」

如今配制出的光刻胶样品,成功通过了结构图谱和物理验证测试,基本证明他们顺利合成出,这项由算法设计的最优光刻胶分子结构。

违反了稳定性规则的全新化学材料。

在这种情况下,肯定要尽快展开最终的流片验证。

只要结果数据达到预期,那么便是彻底解决了国内高端光刻胶的弱项。

实现百分百国产化,高端晶片制造产业闭环。

让海外签署的限制文件,彻底沦为一张擦屁股都嫌硬的废纸。

单想到届时会引起的行业轰动,和全球这么多国家之间的激烈讨论,整个人的心脏都仿佛要蹦出来。

难以控制激动情绪。

显得格外兴奋。

路川本来还在暗自感叹,心想就徐教授的化学水平和研究的时间,恐怕就算讲出去都没人会相信,完全脱离了大众认知中的所谓天才。

正自残形愧时,被老师的这句交代,瞬间惊醒。

几乎是下意识答道:「是老师。」

当话音在办公室内响起,刚才那份验证结果报告带来的振奋才又逐渐出现。

不敢有任何的耽搁,忙跑著朝外面走去。

迫不及待想分享这个好消息。

当办公室内只剩下两个人,周启深依旧保持著脸上堆出的灿烂笑容,坐在沙发上主动同徐铭搭话。

「这几个月的时间,我都像做梦一样,没想到那么快我们就合成出了光刻胶样品。」

「现在就看流片的结果数据了。」

「如果满足逐光极紫外光刻机和璇玑的要求,很快就能正式面向世界公布,我们从今以后成为具备自主制造高端晶片的半导体大国。」

「最关键的是全球仅此一家。」

徐铭安静听著,时不时应和上一句,很理解像周院这种老一辈科研人员的情感。

大家等著这一天,已然很久了。

况且事实也正是如此。

当前海外有能力生产高端晶片的晶圆厂,其半导体设备和材料,全部来自世界各地的公司研发生产整合,这才构建出完整的技术生产线。

承接各大网际网路等巨头公司的晶片订单。

但等逐光极紫外光刻机问世,全部环节则都是由国内自研产品技术实现。

单光刻成本这块,就足以彻底碾压海外方面,抢占全球晶片制造市场份额。

到时候就要轮到海外主动服软谈判。

攻守易型。

「估计微电子装备那边,很快就会安排流片,我们耐心等著就是。」

「另外。」

「光刻胶的量产方案还需进行适当优化。」

徐铭这时接过周启深的话茬,总算不再沉默,针对当前仍存在的问题进行讨论。

简单合成配制一份光刻胶样品,那自然简单。

实验过程中可以做到无比精准的把控,确保数据曲线和计算预测的完全吻合,最大限度维持光刻胶的良品率。

可若进行量产的话,就需采用更适合的方案,否则劣质品概率过高,就会直接影响产出量,以及导致光刻胶成本的价格飞速增长。

在这个情况上,霓虹信越化学方面,就限制了每年高端光刻胶的出口量。

周启深自然明白其中的重要性,加上之前就曾在会议上进行讨论,基本制定出了可行的量产流程,接下来要做的就是不断优化升级。

「这事我会亲自抓的。」周启深郑重点头。

随著两人的讨论,在样品验证成功的喜悦中结束,徐铭便没有在化学研究所内逗留。

且接下来两天,都待在燕大数院,算是搁今年新生面前刷了下存在感。

就是依旧没有安排课程讲座,让学生们颇感遗憾。

视线转到微电子装备集团。

贺鹏涛和丁顺安两位逐光项目核心负责人,听说了全新一代极紫外光刻胶,已研发出来且通过了初步验证。

震惊过后简直比周启深还要激动高兴。

可以说当天便下达指令,安排开展流片工作。

没办法。

他的逐光极紫外光刻机,几个月前就测试成功,却因光刻胶的问题,迟迟没法面向世界公布,为国产光刻机的技术水平正名。

连庆祝都还是私下小范围进行的。

现在光刻胶终于迎来好消息,这也同时代表著,距离公布的时间不会远。

心里如何会不高兴。

至于科学院院长余高远,得知这个消息时,第一反应是不相信。

思索著是不是传递环节有误。

毕竟上次讨论中,按照徐铭的说法,就算能依靠璇玑系统算法,来设计最优结构分子,都需要大半年时间。

眼下才刚过去小几个月,竟被告知样品合成出来了。

这效率提升的可不是一星半点。

尤其高端光刻胶的难度,早已根深蒂固,是全球公认的行业重点技术。

啥时候在国内变得那么简单,说合成就合成。

然正当他准备打过去电话询问时,却又收到微电子装备同步过来的,开展实际流片验证测试的申请报告,顿时瞳孔骤缩心中涌现出惊喜。

后面经过彻底确定,当即对化学研究所提出表扬。

并参加这一次的流片验证。

国庆假期。

就在大众尽情享受假期时光时,魔都微电子装备集团同一个机房内,聚集了科学院众多院士和研究员,以及相关行业内的公司董事长。

只因今天继首次全链路流片验证后,仅仅时隔几个月又再次进行流片验证。

「老周。」

「这次你们化学所干的不错,在这么短时间内,就合成出了全新一代光刻胶。」

「可是给了我们一个不小的惊喜。」

逐光极紫外光刻机所在的区域外面,余高远主动和周启深交流著,毫不掩饰脸上浮现出的欣喜笑容。

能看出此刻心情相当不错。

而与此同时,旁边的贺鹏涛和丁顺安两人,也没吝啬自己的称赞。

纷纷跟在后面开口附和。

「说实话我也挺意外的,本来以为还要等个半年,才有希望看到新一代极紫外光刻胶出来,没成想一下子给提前了这么长的时间。」

「这对我们太重要了。」

「只要此次流片验证成功,我们完全能赶在阿斯麦之前召开发布会,率先推出逐光极紫外光刻机。」丁顺安对贺鹏涛的话边点头边补充。

贺鹏涛笑著道:「那阿斯麦肯定要傻眼不成。」

「他们的半导体设备,始终位于世界行列,那种自信可都深入到了骨子里。」

「恐怕从来都没有把我们的产品当做对手。」余高远在这种氛围下也忍不住接了句。

不过作为话题主角的周启深,把几人的话悉数听进耳中后却有些不好意思。

尤其注意到身旁面色镇定的徐铭后,身上的不自然不由得更加浓烈。

别人或许不太清楚具体情况,但他心里明白,新一代极紫外光刻机,之所以能在如此短时间内,顺利研发成功并合成出样品。

主要全靠徐铭的贡献。

他又怎么好居功。

于是连忙跟在话茬后面解释。

「这次光刻胶能那么快研发出来,都是仰仗徐总师。」

当声音传进贺鹏涛和丁顺安耳中,两人首先想到的便是璇玑系统算法。

眼神中流露出几分惊讶。

「依靠璇玑系统的算法设计分子结构,原来竟然有这么大的作用,直接把传统实验研发周期缩短那么多。」

「看来对于璇玑系统,还有著很大开发空间。」

然他们的话音还未完全落下,便被周启深出声打断。

针对详细的合成过程进行说明。

「不单单是靠璇玑系统,徐总师在化学实验上的水平也非常厉害,合成过程中帮助我们解决了几个问题。」

「否则想得到光刻胶样品,起码还要等段时间。

说完。

现场瞬间陷入一阵沉默。

包括余高远在内,大家几乎同时瞪大眼睛,脸上的表情充满了疑惑和不解。

就凭徐铭创造出来的传奇经历,哪怕小学里面的孩子都能讲出来,更不要说他们这些院士专家。

谁不知道徐铭主要研究领域,仅限于物理数学以及信息算法几个学科,纵使是多少年不出的天才,同时投入时间和精力也可以说到达极限了。

根本不可能再去研究化学。

因此听到周启深,如此称赞徐铭的化学水平,脑海中不由得浮现一个问号。

心想以徐铭的名气和权威,也没必要采用这样的方式去称赞。

稍微顿了几秒,余高远干咳一声,摆摆手说道。

「行了老周。」

「徐总师对项目的贡献是大家有目共睹的,这份功劳任何人都无法抹除。」

「至于你嘛也不用这么谦虚。」

周启深听到这番话,心里那叫一个无语,敢情说实话都没有人相信。

为此他只得又专门强调一句。

「我说的都是真的,根据我的判断,徐总师以后的化学成就不见得比数学差。」

讲这话时神情格外认真。

而闻言大家也都回味过来,看周启深的样子,似乎真不是在开玩笑。

但仍旧有些不太敢相信。

成就不比数学差?

要知道证明霍奇猜想,构建全新的理论工具,可以说无论哪一项都站在了数学的最高殿堂。

让不知道让多少数学家望其项背。

如果未来的化学成就也达到类似的程度,那该会是多惊人的程度。

确实无法和现在的徐铭联系在一起。

相比较在化学领域取得巨大成就,大家更愿意相信未来徐铭再次证明黎曼猜想。

经过短暂的怔神后,贺鹏涛最先反应过来。

将目光转到旁边徐铭身上后,主动开口询问抛出自己的问题。

「老周讲的都是真的?」

「我记得你之前不是说,没研究过化学吗?」

他十分清楚的记得,当初徐铭提出,能在短时间内依靠璇玑系统解决新一代光刻胶时,便向其询问过是否对化学也有研究。

所得到的回答是否定。

怎么才短短几个月过去,就化身成化学专家了。

「这具体怎么回事?」丁顺安同样疑惑。

徐铭原本没打算参与话题,谁曾想聊到自己身上,面对周边大家的目光,他倒也没打算卖关子,未作迟疑便开口进行详细的回答。

「我确实在光刻胶合成的时候,帮了些忙。」

「至于对化学的研究,前两个月刚从化学研究所图书馆借阅了文献资料。」

「刚研究的?」贺鹏涛脱口惊呼。

他无论如何都没有想到,徐铭会给出这种答案。

仅研究了一段时间的化学文献资料,就能攻克新一代极紫外光刻胶。

变态程度根本无法形容。

嘴唇微动几下,最后他还是把话咽了回去,整个人仿佛失去了所有力气。

哪怕旁边的丁顺安等人,也完全一样。

生怕继续聊下去,又会被徐铭的话暴击,影响到今天的欣喜情绪。

最终还是余高远强行岔开话题。

「那个————时间差不多了,赶紧开始验证吧。」

有著上回的经验,这回进行流片验证,光刻过程只会更加顺利。

伴随逐光极紫外光刻机启动,由璇玑系统生成的测试晶片版图,在涂抹了新一代光刻胶的晶圆片上曝光。

超净间外。

大家通过观察窗,看著晶圆片被送入逐光光刻机。

神情越发的紧张和期待。

哪怕无比相信,最终的结果不会让人失望。

「这次流片的数量,是上回的数倍,所得到的各项数据也会更加精准。」

待众人离开观察窗后,丁顺安主动向余高远报告。

对今天进行的流片情况进行说明。

闻言余高远只是点了点头,并未发表意见。

毕竟一台新型号的极紫外光刻机,外加新开发的晶片设计软体和光刻胶,必须经过大量的流片验证,才能证明其产品技术的成熟性。

以及良品率数值。

虽然这会拉长验证的周期,却属于产品公开发布前的必备流程。

而就在这个时候,人群中一位戴著眼镜的,中年模样男子出声询问,向丁顺安表明自己的疑惑。

「丁院士。」

「咱们的国产高端晶片制造生产线,真的能达到海外最先进的工艺水准?」

崔景和作为华芯国际董事长,其公司是国内最先进同时规模最大的,半导体晶片集成电路制造企业。

但因为无法购买到,海外先进的光刻机和光刻胶。

高端晶片市场份额在全球范围内落后。

得知国产高端晶片制造产业技术,已经有了重大的突破进展之后,他的心情无疑是非常的激动高兴,无比期待逐光极紫外光刻机的问世。

直到今天受邀参加流片验证,他才真正清楚当前国产技术处在什么阶段。

竟具备了正式推向世界舞台的资格。

这无疑是巨大的冲击。

主要在大多数人的认知中,国内在高端晶片制造领域内想实现国产化,还是有一段长的路要走。

结果他现在看到了什么?

国产逐光极紫外光刻机早已研发成功,新一代光刻胶也和晶片设计软体也配套完善,就仿佛是瞒著外界偷偷在跑道上来了个百米冲刺。

丁顺安闻言,自光当即朝崔景和望去。

嘴角微微上扬挂著笑容。

下秒语气无比坚定的答复道:「是的,你想的没错。」

「根据初步的计划方案,明年我们的首批国产逐光极紫外光刻机,就会在华芯国际科技园安家落户。」

「光刻工艺可以达到5纳米精度。」

「并且我们有信心,逐光极紫外光刻机,性能会远远超过明年阿斯麦推出的新产品。」

将丁顺安的话一字不落听进耳中,崔景和哪怕见惯了大场面,此刻也不由得呼吸变得有些急促起来,似乎已经看到公司跻身全球市场的那天。

深吸一口气稍微平复后,当即信心十足的保证。

「只要国产逐光极紫外光刻机就位,我们绝对会把失去的高端晶片制造市场份额拿回来。」

丝毫不夸张的讲,现在他都想,先把这台极紫外光刻机搬回公司。

而接下来的时间,他则又把视线,移动到徐铭身上。

重新审视这位年轻人。

带领国产高端晶片制造产业崛起的总设计师。

就这样随著时间一分一秒流逝,无论微电子装备集团还是化学研究所,亦或者华天科技和华芯国际,大家心里面都在憋著一口心气。

等待详细的流片结果出炉。

但要说在这个过程中最轻松的,无疑是徐铭。

他几乎参与了每个环节的技术研发工作,对具体情况可以说非常清楚。

当极紫外光刻胶样品被合成出来的那刻,最终的结果就已经注定。

高端晶片制造产业百分百国产化是必然的事情。

为此趁著这些日子闲下来,他总算在燕大数院举行了几次讲座公开课。

——

每场都是人山人海般的场景。

除院里的研究生报名外,甚至还有讲师教授,都不愿意错过这种难得的机会。

毕竟这实在是太难得。

另外值得一提的是,他还抽空给蒋旭和朱志轩,以及陆明哲等人指导了博士毕业论文,如果顺利的话他们都会在明年五月份正式毕业。

转眼来到月底。

让大家心心念的流片验证结果,终于出来。

上午。

微电子装备报告厅。

贺鹏涛郑重拿起流片报告,面对现场众人,直接公布最终的结果。

「图形保真度完美,解析度和线边缘粗糙度,优于璇玑系统的预测数值。」

「光刻胶对随机效应成功抑制。」

「测试晶片中数以万计的环形振荡器,测得平均延迟时间与璇玑系统仿真数值误差小于1%。」

「电晶体的关态电流密度领先国际水平。」

「流片良品率达到99%,优于璇玑系统数字流片预测结果数值。」

当一项项数据从贺鹏涛口中念出,宣布著逐光极紫外光刻机和璇玑系统,以及新一代极紫外光刻胶的成功。

从海外限制高端晶片和先进半导体设备,到今天彻底实现产业国产化。

如此短的时间内实现技术追赶,无疑是一项足以载入史册的行业奇迹。

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